信息摘要:
無塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室極高的硅晶片制造鏈中,必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔…
無塵室是污染控制的基礎(chǔ),是一間具備了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室極高的硅晶片制造鏈中,必須是一個(gè)無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間,硅晶片零件才能夠正常批量生產(chǎn)。
我國的無塵室發(fā)展起步與國外相比較晚,近二十年來,隨著越來越多外企在國內(nèi)開辦或合資開辦企業(yè),一些高新技術(shù)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求提高,為了提升競(jìng)爭(zhēng)力,各個(gè)行業(yè)也開始追求無塵室的質(zhì)量。
正確、合理的設(shè)計(jì)是保證無塵室穩(wěn)定運(yùn)行的前提,在實(shí)際使用中,不正確的維護(hù)操作和不規(guī)范的管理都會(huì)使無塵室的空氣潔凈度降低,造成無塵室指標(biāo)達(dá)不到要求。因此,正確科學(xué)地進(jìn)行無塵室維護(hù)和管理非常重要,并且這要從各方面來完善。
人員控制
經(jīng)測(cè)試分析,無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時(shí)塵埃有顯著增加,潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作,且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn),并制定相應(yīng)的章程和制度等。